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洁净度等级标准

洁净度等级标准ISO 14644根据悬浮粒子浓度这个**指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。

根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）

 

 

空气洁净度等级（N）
大于或等于所标粒径的粒子*大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
ISO Class 1
10
2
    
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
 
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
 
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
 
35 200 000
8 320 000
293 000
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。


 
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996（中国标准）

 

粒径、数值洁净度级别
尘埃*大允许数/立方米
微生物*大允许数
≥0.5um
≥5um
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100 级
3,500
0
5
1
10,000 级
350,000
2,000
100
3
100,000 级
3,500,000
20,000
500
10
300,000 级
10,500,000
60,000
—
15


 
美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）

 

空气洁净度等级（N）
大于或等于所标粒径的粒子*大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
5 um
1
35
7.5
3
1
 
10
350
75
30
10
100
 
750
300
100
1000
   
1000
7
10000
   
10000
70
100000
10000
700


 
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：

 

空气洁净度等级（N）
大于或等于所标粒径的粒子*大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
0.3um
0.5um
5um
10um
25 um
C
100
35
0
  
D
1000
350
0
E
10000
3500
0
F
 
3500
0
G
100000
35000
200
0
H
 
35000
200
0
J
 
350000
2000
450
0
K
 
3500000
20000
4500
500
L
  
200000
45000
5000
M
 
450000
50000


 
各种国际标准的比较：

 

美国联邦
美国联邦
英国标准
澳大利亚标准
法国标准
德国标准
国际标准
日本标准
标准 209D
标准 209E
BS5295
AS1386
AFNORX44101
VDI2083
14644-1
JACA24
      
1
1
    
—
0
2
2
1
M1.5
C
0.035
—
1
3
3
10
M2.5
D
0.35
—
2
4
4
100
M3.5
E
3.5
4000
3
5
5
1000
M4.5
G
35
—
4
6
6
10000
M5.5
J
350
400000
5
7
7
100000
M6.5
K
3500
4000000
6
8
8
  
M
  
7
9
—


 

 

美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准

标准 209D

标准 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24

      

1

1

    

—

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

—

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

—

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

—

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8

  

M

  

7

9

—

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