产品资料
电脑操控,可多根连合的离子棒
产品型号:5225
产品厂商:
简介:

Simco-Ion 型号 5225 离子棒,以数码电路设计和透过软件操控,满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量,能快速中和晶圆上的静电,符合 E78 标准上*严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造,使得 5225 离子棒在微型洁净室内,完全发挥静电防控能力,而不干扰室内层流气流。 5225 离子棒能结合设备系统,使用预编软件或开放的源代码范例,与设备接口的无缝连接,作出低成本的静电防控方案,减低维护费用,和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上,另有设备监控输出作其他警报提醒。 Simco-Ion 强大的软件系统提供**的离子棒控制,设置包括:工作模式调整 (脉冲模式,稳态模式,待机),信号同步,电离开关时间,输出功率,正负极的警报阈值,每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测,也能降低的故障耗时和诊断工作。

产品参数

         产品型号

         5225

         工作电压

         24 VAC,50/60 Hz,1W (typ),由介面模组提供

         输入电压

            0-20 kVDC,±10% @ 离子棒上每个极性,正负极性的输出可以通过软件的 GUI 设置

         输出电流

         <15 μA,电流和电压限定

         信号接口

         介面模组的 RS-485

         接      口

         RJ-11 modular jack receptacles

         调     节

         通过单独校准离子棒的每个极性的输出电流,来达到输出和平衡的稳定性

         脉冲定频

         每个极性的电离开关时序,0-10 秒 @ 0.1 秒 调级,棒上的LED 显示电离极性

         工作模式

         脉冲直流,稳态直流,待机

         警      报

         警报启动 - 当离子棒不能再维持设定的离子输出量,在棒上有红色的 LED 显示,或者显示

        在监控软件 的 GUI 上;警报限制阈值可设定,作预防性维护。

         静电针材质

         单晶硅,可替换

         预防性维护

         维护周期 - 年度,半年度,或季度 - 取决于环境和制程的敏感度

         臭氧产生

         <0.005 ppm

         EMI

         低于背景水平

         LED 显示

         正和负的红色 LED 会闪烁,表示工作。中间的红色 LED 快速闪烁表示警报。

        全部 3 个红色 LED 闪烁表示通信发生问题。报警也会在监控软件 的 GUI 上显示


         体     积

          5.3H x 3.1W x (56.9,72.1,90.7,112.8,141.2,163.6,191.8or 214.4L) cm

         重     量

         1.02 kg (56.9 cm) 长的棒 (约 每 30 cm 长度,有 0.17 kg 重量)

         封     装

           ABS plastics,防火阻燃

         保修期

           两年有限保修







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