产品资料
脉冲技术离子棒
产品型号:5630
产品厂商:
简介:

Simco-Ion Aerobar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5630能维持长时间的高效工作而不需清洁,相较传统脉冲 AC 技术,有更长的清洁周期。在棒长 450mm 和 600 mm 时,静电针的间距是 50 mm,棒长 850 mm 至 2350 mm 的静电针的间距是75 mm。5630 MP 离子棒标准配置是 QTC27 TurboJet 风嘴和钛金属静电针,提供高效而长清洁周期。 Aerobar 5630 MP 离子棒能容易设置和微调参数 - 输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。可垂直和横放安装,容易满足不同的应用环境,如机内插

产品参数

         产品型号

         5630

         工作电压

         24 VDC ±10%

         输出电压

        13.5 kV p-p (max),可调

         工作距离

         由15cm至100 cm,根据应用需求或客户规格决定

         脉冲定频

         由1Hz 至 33 Hz,可调,默认设定-5 Hz

         平衡电压

         自动平衡系统,在可控环境下,整根棒能长期保持在 <±20V @61 cm 工作距离

         工作效能

         TurboJet 风嘴 : <3.5 秒 @ (±1000-100V,HEPA下工作距离60cm 和0.3 m/s 风速,

         和每风嘴供气 3 liter/min,根据ANSI/ESD-STM3.1-2006 Ionization 标准);OpenJet 

         风嘴 :15秒 (典型),Vp-p摆幅 - 80Vp-p @ (没有吹气辅助,在棒中下面61cm工作距离)

         电离技术

         调制脉冲 (MP) 技术

         静电针材质

         

         风嘴间距

         可选 50 mm 或 75 mm;棒长 450 mm 和 600 mm 只可选50 mm

         符合洁净度

         满足 ISO 14644-1 Class 3 标准

         供气要求

         CDA (清洁干燥压缩空气)或氮气

         气压要求

         45 psi (*大);由选配的 8 mm 外径快速接口接入,每个风嘴输出 1-3.5 litre/min的

         风量 (选配)

         臭氧产生

         <0.05 ppm

         EMI

         低于背景水平


         操作环境

           15-35℃,30-60% RH,无冷凝

         设      定

         DIP 开关设定电源输入选择,有可调电位器微调操作参数 - 正负平衡,工作频率,

        功率输出,也可以序列埠输出连接电脑软件作调整

         封      装

           ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈

         体     积

        78H x 34W x 长度 - 450,600,850,1000,1150,1300,1450,1600,1750,1900,

        2050,2200,2350L mm

        型号 5601 电源分配盒

        输入电压

        24 VDC 提供给一组 4 根棒,组内每个端口*多需要 0.7A 电流;总电流要求 5.6A

       通       

          有以太网端口 (RJ-45) 连接电脑,每根棒有独立待机信号

       警       报

        输出继电接点连地

       输出端口

        8个RJ-45 端口,每根棒接一个端口

       LED 显示

       电源 - 绿,通信 - 黄,警报 - 红,LAN 通信 - 蓝

      重        量

       0.42 kg

      体        积

       3.1H x 16.0L x 9.2W cm








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