洁净环境使用的离子棒
产品型号：5635 (M)
产品厂商：
简介：Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和**的参数调整，使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的
“Extended ISO Class 1”洁净度，适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距